引張 Tension

エッチング工程が完了したメタルマスクは、
蒸着工程に使用するためにインバー素材の
メタルフレームに取り付けられます。
この時に製作されたメタルマスクと図面との
誤差を減らし、インバーのたるみを防止するために
メタルマスクにテンションを
与える
引張工程を経ることになります。

インバー原材料の特性上、マスクを引っ張った時の
たるみの精度を予測したり調節することが難しくて元の
形に戻ろうとする特性があり、いろんなノウハウ
(Know-How)を要求する工程です。
SEWOO INCORPORATIONは3Dシミュレーターで
引張時に製品に加えられる力とたるみ量を予測し、引張工程に
AIアルゴリズムを導入するなどの
研究開発を進めています。
SEWOO INCORPORATIONならではの
特別な技術力で
同種業界最高スペックのマスクを製作しています。

溶接 Welding

メタルマスクの引張工程を経てマスクのスペックを
図面と一致させた後、マスクを溶接して
フレームに固定させます。
引張工程によって引っ張られたマスクに加えられる
力が数百キログラムに達するため、
引張工程によって
引張られたマスクに
変形をもたらさない溶接技術が必要です。

SEWOO INCORPORATIONは自主的に開発した
溶接アルゴリズムと装備を通じて製品の詳細を反映し、
最高のメタルマスク溶接を行っています。

測定 Measurement

溶接工程した後、メタルマスクの製作精度を確認するために
メタルマスクの各位置座標を測定します。

検査 Inspection

AOI検査装備でメタルマスクの外観不良を判定します。

コーティング Coating

製作が完了したメタルマスク表面を絶縁膜で
コーティングする工程です。

ドライエッチング Dry Etching

MASK Cutting / Half Etching / Hole 加工工程開発完了

• CELL SIZE 精密化

• H/E Dep.及びUni改善

• Align Key精密度改善